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測試服務

測試服務

Testing service

SEM(掃描電子顯微鏡)
設備描述:
此設備為緊湊型場發(fā)射掃描電鏡,成像分辨率優(yōu)于10nm。低加速電壓成像,有效減少電荷累積,非導電樣品,無須噴金噴碳處理,便可直接進行觀察。
工藝能力:
?  電子槍:場發(fā)射電子源
?  加速電壓:0.5 to 2 kV
?  束流:0.2 to 1 nA 
?  分辨率:<10 nm (@1kV)
?  放大倍數(shù):250 to 130,000x  (2048×2048pixels) 
?  樣品尺寸:最大 100×60 mm
?  樣品高度:最大 30 mm


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