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2023-10-09
分子束外延是50年代用真空蒸發(fā)技術(shù)制備半導(dǎo)體薄膜材料發(fā)展而來的。隨著超高真空技術(shù)的發(fā)展而日趨完善，由于分子束外延技術(shù)的發(fā)展開拓了一系列嶄新的超...
2023-10-07
當(dāng)離子轟擊進(jìn)入硅襯底后，與晶格原子碰撞將逐漸失去能量，最后停留在硅襯底內(nèi)。有兩種阻滯機(jī)制，一種是注入的離子與晶格原子的原子核發(fā)生碰撞，經(jīng)過這...
2023-09-26
MEMS器件在射頻比如無線通信上有很好的應(yīng)用。RF MEMS諧振器和誘導(dǎo)器品質(zhì)因子在微波上有大幅度提高。MEMS開關(guān)極大地改進(jìn)了高頻性能和降低...
2023-09-25
壓力傳感器是觸覺傳感的核心部件，是一種精度高、靈敏強(qiáng)的傳感器件，在機(jī)器人、鋼鐵化工、智慧城市等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。目前市場上的壓力傳感器可大...
2023-09-21
激光加工技術(shù)是利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性，對(duì)材料（包括金屬與非金屬）進(jìn)行切割、焊接、表面處理、打孔及微加工等的一門加工技術(shù)。 激光加工技術(shù)...
2023-09-21
國際上，柔性微納制造技術(shù)主要包括納米壓印技術(shù)和3D、4D打印技術(shù)。上世紀(jì)90年代提出的納米壓印技術(shù)利用光刻膠輔助將模板上的微納結(jié)構(gòu)通過刻蝕傳遞工...
微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
