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MEMS代工的壓力傳感器設(shè)計(jì)制造步驟

點(diǎn)擊量:1136 日期:2022-07-23 編輯:硅時(shí)代

MEMS代工的壓力傳感器是一種薄膜元件,它在受到外部的壓力時(shí)會(huì)發(fā)生變形,可以通過(guò)電容感測(cè)兩個(gè)面之間的距離變化來(lái)加以測(cè)量,通常應(yīng)用于汽車行業(yè),醫(yī)療市場(chǎng)和工業(yè)領(lǐng)域。MEMS壓力傳感器是具有電源,接口電器,執(zhí)行器,微型傳感器和信號(hào)處理的微型機(jī)電系統(tǒng),尺寸小,性價(jià)比高。

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