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MEMS代工工藝之濕度傳感器

點(diǎn)擊量：1549 日期：2021-09-18 編輯：硅時(shí)代

　　MEMS代工的濕度傳感器是由簡單的濕敏電阻（電容）制作而成，濕敏電阻和濕敏電容測量濕度的原理呢？則是由濕敏電阻上面覆蓋的一層高分子膜，這層膜會隨著濕度的變化影響電阻的電導(dǎo)值或者電容的電容值，利用這種特性可以完成濕度傳感器對環(huán)境濕度的測量。

　　濕敏元器件可以分為：電阻器式和電容傳感器二種：

１、濕敏電阻的特性是在基片上遮蓋一層用感濕原材料做成的膜，當(dāng)空氣中的水蒸汽吸咐在感濕膜上時(shí)，元器件的電阻和阻值都產(chǎn)生變化，運(yùn)用這一特點(diǎn)就可以測量濕度；

2、濕敏電容器一般是用高分子材料薄膜電容做成的，常見的纖維材料有聚乙烯、聚酰亞胺膜、酪酸醋酸纖維等。當(dāng)自然環(huán)境濕度發(fā)生改變時(shí)，濕敏電容器的導(dǎo)熱系數(shù)產(chǎn)生變化，使其容量也產(chǎn)生變化，其電容器變化量與相對性濕度正比。
　　MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)濕度傳感器工藝如下圖所示：

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